真空泵机组一般由下列元件构成：各种真空泵；真空测量装置；真空阀门；真空管道和一些其它元件，例如扑集器、真空接头、储气罐、波纹管、除尘器和真空继电器等。

　　按机组的工作压力分，有粗真空泵机组(>1330Pa)；低真空泵机组(1330~0.13Pa)；高真空泵机组(0.13~1.3×10-6 Pa)；超高真空泵机组(1.3×10-6~1.3×10-11 Pa)；极高真空泵机组(<1.2×10-11 Pa)。
用于较高真空的罗茨真空泵(机械增压泵)不能直排大气，如直排大气会造成罗茨真空泵吸气口与排气口压差太大，从而使罗茨真空泵过载，如单纯加大罗茨真空泵电机功率又会造成罗茨真空泵过热以致罗茨真空泵转子之间的微小间隙很快因热膨胀而卡死。为保证罗茨真空泵能达到较高真空必须保证罗茨真空泵转子之间的间隙。所以罗茨真空泵使用时必须设有前级泵，用前级泵将系统内压力抽至一定范围内时再启动罗茨真空泵，如此可以避免罗茨真空泵过载。前级泵可以选用水(液)环式真空泵、旋片式真空泵、滑阀式真空泵、往复式真空泵等可直排大气的真空泵。
罗茨真空泵机组在一般情况下，选用水环泵作为前级泵比其它真空泵更为有利，这主要是由于它能够抽除大量的可凝性蒸汽，特别是当气镇油封机械真空泵排除可凝性蒸汽能力不够，或使用的溶剂能使泵油恶化而影响性能，或者是真空系统不允许油污染的时候更为明显。

低真空泵机组的主要特点是工作压力高，排气量大，但抽速比高真空泵机组低。多用于真空室的粗抽以及放气量很大，工作压力较高的真空输送、真空浸渍、真空过虑、真空脱气、真空干燥等装置中。低真空泵机组的主泵常用往复式真空泵、油封真空泵、水喷射泵、水蒸汽喷射泵、水环泵、油蒸汽喷射泵、分子筛吸附泵和罗茨泵等。使用低真空泵机组，还需要根据被抽气体的清洁程度、湿度等工艺要求，配置除尘器、干燥过虑器等元件。例如我厂生产的JZJB,JZJ2B,JZJS等罗茨水环真空泵机组

高真空泵机组例如JZJX,JZJP型罗茨旋片真空泵机组等。

　　①选好主泵，主泵有扩散泵、分子泵、溅射离子泵、钛泵、低温泵等。

　　②选好预抽泵、储气管(防震、缩短工作周期、防止真空室内瞬间大量放气、稳定扩散泵出口压力)
超高真空泵机组

　　主泵极限真空度要高、漏气率要低、耐200~450℃烘烤。

　　①扩散泵机组：降低返流、控制污染;

　　②分子泵机组：对氢压缩比小，残余气体主要是氢;

　　③溅射离子泵机组：通常与钛泵联合使用;

　　④低温泵机组：无污染。
因超高真空泵机组造价成本较高，组装构造构成较严格，现逐渐被罗茨旋片真空泵机组所取代。但是在极其严格的工作环境要求下还是又一定量的需求。

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